ПРОЕКТ ПРЕПОДАВАТЕЛЯ ДГУ СДЕЛАЕТ ДОСТУПНЫМИ ИССЛЕДОВАНИЯ АСО ДЛЯ РОССИЙСКИХ УЧЕНЫХ

ПРОЕКТ ПРЕПОДАВАТЕЛЯ ДГУ СДЕЛАЕТ ДОСТУПНЫМИ ИССЛЕДОВАНИЯ АСО ДЛЯ РОССИЙСКИХ УЧЕНЫХ

Преподаватель кафедры физической и органической химии ДГУ Рустам Амашаев стал победителем грантового конкурса «Старт-1» Фонда содействия инновациям с проектом «Разработка технологической платформы атомно-слоевого осаждения для синтеза материалов микро- и наноэлектроники».

Проект направлен на разработку прототипа бюджетной установки атомно-слоевого осаждения тонкопленочных структур с возможностью мониторинга изменения массы и толщины в процессе роста пленок.

«В последнее десятилетие значительным образом усилилось внедрение технологии атомно-слоевого осаждения в микроэлектронику, в связи с чем наблюдается интенсификация научных исследований в области АСО во всех развитых странах. Научные исследования направлены на разработки полупроводниковых, диэлектрических и барьерных тонкопленочных структур толщиной меньше 100 нм, поскольку потребности в современной электронной промышленности требуют массового производства тонких и конформных пленок с прецизионным контролем толщины», – отметил преподаватель.

По его словам, осуществление научной и производственной деятельности в области АСО требует создания соответствующей инфраструктуры для тонкопленочного осаждения.

«Создание и развитие подобного класса вакуумного оборудования для проведения научных работ и налаживания производственных цепочек в тонкой электронике имеют стратегическое значение для нашей страны», – говорит исследователь.

В рамках проекта планируются проектирование и сборка прототипа установки базового типа для термического атомно-слоевого осаждения, которая осуществит осаждение на нанометровом уровне с контролем толщины и прироста массы.

Кроме того, меньшая стоимость предлагаемой установки АСО по сравнению с импортными аналогами за счет использования отечественных электронных и вакуумных узлов, а также программное обеспечение собственной разработки позволят сделать доступными исследования в области АСО для российских ученых.

18:05
Нет комментариев. Ваш будет первым!
Список контента
Студенты ДГУ стали стипендиатами Фонда Гаджи Махачева
Запуск Акселерационной программы Даггосуниверситета 2023
ДГУ начал совместные исследования с Курчатовским институтом
ДГУ присоединился к Всероссийскому фестивалю технологического предпринимательства «Технокод»
Пять студентов ДГУ стали победителями конкурса молодежных проектов СКФО
Студентка химического факультета ДГУ стала победителем конкурса инновационных проектов «УМНИК»

ПАРТНЕРЫ